AMHS(自动物料传输系统)是12英寸晶圆厂的标配,天车系统实现晶圆盒的全自动传输。AMHS系统组成**OHT(天车)**:空中传输小车**Stocker**:晶圆盒存储柜**Lifter**:垂直升降机**MCS**:物料控制系统技术挑战高速高精度定位多车协同调度防振动、防污染系统可靠性99.9%+主要厂商**大福(Daifuku)**:全球龙头**村田机械**:性价比高**盟立自动化**:国产领先者**京鼎精密**:台系厂商,大陆布局