AMHS（自动物料传输系统）是12英寸晶圆厂的标配，天车系统实现晶圆盒的全自动传输。AMHS系统组成**OHT（天车）**：空中传输小车**Stocker**：晶圆盒存储柜**Lifter**：垂直升降机**MCS**：物料控制系统技术挑战高速高精度定位多车协同调度防振动、防污染系统可靠性99.9%+主要厂商**大福（Daifuku）**：全球龙头**村田机械**：性价比高**盟立自动化**：国产领先者**京鼎精密**：台系厂商，大陆布局
