中微公司、北方华创在刻蚀设备领域取得突破，5nm刻蚀机已进入国际一线晶圆厂。刻蚀设备重要性刻蚀是芯片制造三大核心工艺之一，占晶圆制造设备投资的20%以上。国产进展**中微公司**：5nm刻蚀机获台积电认证**北方华创**：硅刻蚀机市场份额持续提升**屹唐半导体**：去胶设备已量产技术挑战先进制程刻蚀精度要求极高设备可靠性需长期验证备件供应链需完善
