中微公司、北方华创在刻蚀设备领域取得突破，5nm刻蚀机已进入国际一线晶圆厂。
刻蚀设备重要性
刻蚀是芯片制造三大核心工艺之一，占晶圆制造设备投资的20%以上。
国产进展
- 中微公司：5nm刻蚀机获台积电认证
- 北方华创：硅刻蚀机市场份额持续提升
- 屹唐半导体：去胶设备已量产
技术挑战
- 先进制程刻蚀精度要求极高
- 设备可靠性需长期验证
- 备件供应链需完善
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