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设备材料

半导体材料国产化:光刻胶突破在即

李思颖2026/3/120 阅读
半导体材料国产化:光刻胶突破在即

南大光电、晶瑞电材等在ArF光刻胶领域取得突破,国产光刻胶进入28nm验证阶段。

光刻胶分类

国产进展

  • **南大光电**:ArF光刻胶通过客户认证
  • **晶瑞电材**:KrF光刻胶已量产
  • **上海新阳**:电镀液、清洗液市占提升
  • 挑战与机遇

  • 高端光刻胶配方是核心机密
  • 纯度要求极高(ppb级别)
  • 国产替代市场空间巨大