TCAD(工艺与器件仿真)工具可在流片前预测器件性能,大幅降低研发成本和周期。TCAD工具分类**工艺仿真**:模拟离子注入、扩散、刻蚀等工艺步骤**器件仿真**:求解载流子输运方程,预测电学特性**互连仿真**:分析RC延迟、串扰等问题**可靠性仿真**:预测NBTI、HCI等失效机理主要工具国产进展鸿之微:QuantumATK已商用北方华创:与清华合作开发TCAD