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EDA工具

半导体工艺仿真TCAD:从原子到系统

李思颖2026/1/220 阅读
半导体工艺仿真TCAD:从原子到系统

TCAD(工艺与器件仿真)工具可在流片前预测器件性能,大幅降低研发成本和周期。

TCAD工具分类

  • **工艺仿真**:模拟离子注入、扩散、刻蚀等工艺步骤
  • **器件仿真**:求解载流子输运方程,预测电学特性
  • **互连仿真**:分析RC延迟、串扰等问题
  • **可靠性仿真**:预测NBTI、HCI等失效机理
  • 主要工具

    国产进展

  • 鸿之微:QuantumATK已商用
  • 北方华创:与清华合作开发TCAD