CIM系统是晶圆厂的神经中枢，整合MES、EAP、YMS等系统，实现全流程自动化生产。
CIM系统组成
| 子系统 | 功能 | 代表厂商 |
|---|---|---|
| MES | 制造执行系统 | IBM、应用材料 |
| EAP | 设备自动化 | 台积电自研、IBM |
| YMS | 良率管理 | PDF Solutions |
| APC | 先进过程控制 | 应用材料 |
国产CIM
- 上扬软件：12英寸晶圆厂MES量产
- 格创东智：半导体智能工厂方案
- 中电智能：封测厂CIM系统
挑战
- 系统复杂度极高
- 与设备深度集成
- 数据实时性要求高
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