半导体制造业面临巨大的环保压力,台积电、英特尔等巨头承诺2050年实现碳中和。ESG挑战**能耗**:一座晶圆厂年耗电量相当于一座中型城市**水耗**:先进制程耗水量巨大**化学品**:大量使用有害化学品**碳排放**:全产业链碳足迹惊人绿色制造实践台积电:2030年可再生能源使用50%英特尔:2030年实现全球运营碳中和中芯国际:废水回用率达85%+技术创新极紫外光刻:减少化学试剂使用干法刻蚀:替代湿法工艺循环水系统:大幅降低水耗